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半导体、药厂 、洁净室运用:微差压传感器

发布时间:2018-02-06 点击数:1150

在半导体制程、药厂的制剂车间、医院手术室等许多地方,技术和工艺要求操作环境达到一定的洁净度。

西特Setra 的优势

最小满量程25Pa ,充分满足用户微小差压的需求;
干式电容技术,对系统的变化快速响应;
可提供0.25%FS 精度,提高了系统的整体性能

下表列出了各种等级的洁净度定义。


大部分半导体洁净厂房和药厂的制剂车间要达到100 级的洁净度,手术室的洁净度在1000 级。维持环境洁净度的一个重要条件就是在操作环境与隔离层之间维持一定的差压。

为了将细小的尘埃阻止在洁净室之外,要在洁净室和隔离层之间保持一个15Pa 左右的差压,洁净室是正压端,隔离层是负压端。由于泄露和入口的敞开等因素,会使洁净室的压力降低,Setra 的微差压传感器能够检测到这个变化,并将信号反馈到控制中心,启动增压风机为洁净间增压。

在医院的手术室也会有类似的应用。一般手术室的洁净度等级在1000 级甚至更低,所以他们是通过恒定的风机增压,自然的泄露来维持室内压力,压力传感器起到监视的作用。


在传染病房和P3 实验室也有类似的应用,只是压力连接是反向的,即室内是负压,参考端是正压。这样做的目的是防止传染源的扩散。传感器的作用是检测室内外的差压,并驱动风机对房间抽空,抽出的空气会通过特定的通道进行消毒处理。我们的产品已经有实际的应用。

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